• <menu id="ogem0"><strong id="ogem0"></strong></menu>
  • <xmp id="ogem0">
    您好 歡迎來到磨料磨具網  | 免費注冊
    遠發信息:磨料磨具行業的一站式媒體平臺磨料磨具行業的一站式媒體平臺
    手機資訊手機資訊
    官方微信官方微信

    這項拋光技術獲獎,可用于SiC和GaN

    關鍵詞 拋光技術|2023-01-09 11:44:51|來源 芯TIP、EE Times Japan和Yamamura 實驗室官網
    摘要 在“SEMICONJapan2022”(2022年12月14日至16日,東京國際展示場)上,首次舉辦了“學術獎”,以表彰有前途的大學/研究生院半導體研究。最高獎頒發給大阪大學Yam...

           在“SEMICON Japan 2022”(2022 年 12 月 14 日至 16 日,東京國際展示場)上,首次舉辦了“學術獎”,以表彰有前途的大學/研究生院半導體研究。最高獎頒發給大阪大學Yamamura實驗室,有望成為下一代功率半導體的 SiC(碳化硅)和 GaN(氮化鎵),以及可高效無變形地拋光金剛石基板的等離子/電化學加工工藝。

    微信截圖_20230109102609.png

           Yamamura 實驗室的獲獎研究是等離子/電化學加工技術,用于對脆性材料進行高效和無變形的拋光,如SiC和GaN(預計將被用作下一代節能功率器件的半導體)和金剛石基板(可用作散熱器)。

    微信截圖_20230109102618.png

           GaN有望成為下一代功率器件的半導體,但如果使用現有的硅作為散熱材料,由于其熱導率低和溫度高,器件的性能和可靠性都有問題。實驗室成員、大阪大學工程研究生院助理教授Rong-Sen Son說:"從以前的研究中得知,使用金剛石作為散熱材料可以將溫升降低到六分之一,將功耗降低到十分之一。然而,傳統的拋光/加工方法需要30多個小時,占制造工藝成本的50%,而且金剛石是世界上最硬的材料,因此很難加工"。

           根據該實驗室的說法,在拋光金剛石時,傳統上使用的是刀盤拋光或 CMP(化學機械拋光)。然而,在刀盤拋光中,基底表面因高壓而受損,并存在金剛石因高壓而變成石墨等問題。另外,CMP拋光使用強氧化劑,因此非常昂貴,對環境影響大,加工率低。因此,實驗室研發了等離子輔助拋光技術(PAP),利用等離子軟化基板表面,并對軟化層進行拋光。

    微信截圖_20230109102636.png

           關于 PAP,同一實驗室的研究員 Sota Sugihara 解釋說,“因為 PAP 拋光軟化表面,所以不太可能被劃傷,并且可以以高效率和成本水平進行平坦化?!?實際上,當用PAP拋光20mm見方的單晶金剛石基板時,約100μm的大起伏被平坦化為約0.5μm的起伏。Sugihara 先生說:“當我們通過拉曼光譜分析確認結晶狀態時,PAP 沒有將金剛石變成石墨或破壞晶體結構,它具有足夠的性能作為散熱基板投入實際使用?!?/p>

    微信截圖_20230109102645.png

           該實驗室表示,“我們也在針對GaN進行類似的PAP研究。我們將繼續開發自己的等離子輔助拋光技術,旨在通過高效、高效的拋光技術為早日實現脫碳社會做出貢獻?!?nbsp;

    微信截圖_20230109102703.png

    微信截圖_20230109102714.png

           值得一提的是,Yamamura 實驗室還通過電化學機械拋光 (ECMP),將硬、脆、難加工的導電材料表面通過陽極氧化軟化,改性層被軟而固定的磨粒去除,不會造成損傷。使用陽極氧化的高效表面改性。由于它是無漿料且使用中性電解質,因此成本低。與現有的CMP相比,該裝置簡單,可以拋光半導體材料,例如 SiC 和 GaN,以及包括碳化鎢 (WC) 在內的硬質合金。

      ① 凡本網注明"來源:磨料磨具網"的所有作品,均為河南遠發信息技術有限公司合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明"來源:磨料磨具網"。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
    ② 凡本網注明"來源:XXX(非磨料磨具網)"的作品,均轉載自其它媒體,轉載目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責。
    ③ 如因作品內容、版權和其它問題需要同本網聯系的,請在30日內進行。
    ※ 聯系電話:0371-67667020
    鄭州玉發磨料集團有限公司
    在野外树上被绑着狠狠进入
  • <menu id="ogem0"><strong id="ogem0"></strong></menu>
  • <xmp id="ogem0">